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全自動紫外雙面開槽機

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全自動晶圓裂片清洗一體機

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全自動晶圓裂片清邊一體機

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全自動晶圓裂片機

全自動晶圓裂片機

設備主要針對GPP晶圓開發的一種高端自動裂片設備；配備自動上下料、Z軸壓力感應、視覺角度矯正、雙片檢測、自動噴液功能
廣泛應用于集成電路晶圓、GPP晶圓的裂片。

全自動晶圓高速劃片機

全自動晶圓高速劃片機

晶圓晶粒外觀檢測機

晶圓晶粒外觀檢測機

該設備主要針對GPP或TVS晶圓開發的一種高端芯粒外觀檢測設備，搭配自動上下料，上下雙CCD外觀檢測，可剔除不滿足品質標準的外觀缺陷芯粒。

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